نشت یابی یکی از مهم‌ترین فرآیندهای طراحی و ساخت سیستم‌های خلأ است. یک نشتی کوچک می‌تواند عملکرد تمام سیستم خلأ را کاهش دهد و مانع از حفظ خلأ شود. برای نشت یابی سیستم‌های خلأ بالا و خیلی بالا به طور معمول از نشت‌یاب‌های هلیومی استفاده می‌شود. هلیم یک عنصر غیرسمی، غیرقابل اشتعال و از لحاظ شیمیایی خنثی است و با سرعت زیاد از نشتی‌های بسیار کوچک عبور می‌کند. در نشت‌یابی هلیومی می‌توان نشتی‌ها را به محض یافتن، بدون نیاز به ایزولاسیون و در حین عملکرد برطرف کرد.
به طور کلی روش‌های نشت‌یابی به دو گروه تقسیم می‌شوند:
- داخلی: این روش‌ها برای محفظه‌های تجربی و بعضی از قطعات مناسب هستند که می‌توان درون آنها را از گاز (با فشاری بالاتر از بیرون) پر کرد. در صورت وجود نشتی، خروج گاز بوسیله‌ی یک پراب تشخیص داده می‌شود. به طور کلی این روش‌ها برای خلأهای پایین، متوسط و بالا مناسب هستند.
معایب این روش: این روش برای خلأهای خیلی بالا مناسب نیست. همچنین احتمال آلوده‌سازی محفظه توسط گاز و احتمال بیشتر شدن فشار درون محفظه نسبت به بیرون وجود دارد.
- بیرونی: در این روش‌ها، فضایی که نیاز به تست دارد به دستگاه تست نشتی متصل می‌شود. دستگاه تست نشتی دارای یک پمپ است که باعث ایجاد خلأ در فضای مورد تست می‌شود. با ایجاد خلأ، گاز هلیم وارد فضای مورد نظر می‌شود. یک طیف سنج جرمی، جرم هلیم را محاسبه می‌کند و بر مبنای آن نرخ نشتی را محاسبه می‌کند.. هم چنین به منظور بهره گیری از دقت بالای این ابزارها، می‌بایست فشار سیستم پایدار باشد. این روش برای سیستم‌های خلأ بالا و خیلی بالا انتخاب مناسبی است.
معایب این روش: این روش هزینه بالایی دارد.