طبقه بندی انواع خلأ بر اساس ابزارهای اندازه گیری

خلأ را با توجه به تعداد ذراتی که در واحد حجم دارد، به خلأ عادی، خلأ متوسط، خلأ بالا، خلأ خیلی بالا و خلأ بی‌نهایت تقسیم‌بندی شده‌است. در زیر به تقسیم بندی انواع آن پرداخته ایم، و ابزارهای لازم برای اندازه گیری هر کدام را برشمرده ایم.

خلأ کم

خلأیی است که می‌توان با استفاده از وسائل ابتدایی به آن دست یافت و با ستون مایع مانومتر آن را اندازه‌گیری کرد.

خلأ متوسط

خلأیی است که با استفاده از یک پمپ می‌توان به آن دست یافت، اما فشار کمتر از آن است که بتوان با یک مانومتر مایع و یا مکانیکی به آن دست یافت و اندازه‌گیری آن با فشارسنج مک‌لئود، حرارتی و یا خازنی امکان‌پذیر است.

خلأ زیاد

در این فشار پویش آزاد میانگین مولکول‌ها، بزرگ‌تر از ابعاد محفظه است. در نتیجه عمل پمپ کردن به قصد خارج کردن مولکول‌هایی است که سطح را ترک می‌کنند وبه‌طور انفرادی وارد پمپ می‌شوند (جریان مولکولی). در این ناحیه ذرات بدون هیچ برخوردی با یکدیگر مسیر خود را طی می‌کنند. این گستره‌ی فشار از Torr 3-10(3-10×۱٫۳۳۳۲ میلی بار) تا Torr 6-10 (6-10×۱٫۳۳۳۲ میلی بار) را می‌پوشاند.

خلأ خیلی زیاد

در این گستره، زمان لازم برای تشکیل تک لایه روی سطح از زمان موردنیاز برای اندازه‌گیری آزمایشگاهی روی سطح، بیشتر است. بنابراین می‌توان سطح تمیزی را به کاربرد و اندازه‌گیری‌های لازم را، قبل از تشکیل تک لایه، روی آن انجام داد. این گستره، فشارهای کمتر از Torr 6-10 (6-10×۱٫۳۳۳۲ میلی بار) تا Torr 12-10 (12-10×۱٫۳۳۳۲ میلی بار) را می‌پوشاند.

خلأ خیلی خیلی زیاد

این گستره از خلأ به صورت بسیار محدود و تنها در چند آزمایشگاه تخصصی در سرتاسر دنیا ایجاد می‌شود و به وسایل ویژه‌ای برای ایجاد، اندازه‌گیری و حفظ نیاز دارد. از کاربردهای این گستره از خلأ می‌توان به مراکز شتاب دهنده ذرات، شبیه سازی فضای بین سیاره‌ای و تولید نیمه رساناهای پیشرفته اشاره کرد.